技术方案

Technical scheme

在研项目 解决案例

新型硼扩散技术

该项目开发一种新型硼扩散设备,并开发与之配套的硼源用预在N型硅片上制作PN结,以取代目前普遍被采用的传统的扩散炉扩散和离子注入。有以下优势:1.可大幅降低设备成本和材料成本;2.可降低表面死层厚度,从而大大提高PN结质量。